(주) 신한에이텍 shinhanat.com

제품특징

㈜신한에이텍에서는 정밀계측 및 측정장비의 지반진동 영향을
감쇄시키기 위한 제진테이블을 제작 공급합니다.

Optical Bread Board

Laser 실험 및 정밀한 광학실험을 위해 가벼우면서 고강성인 하니콤 정반은 효율적인 정밀광학실험을 위해 특별히 설계된 제품입니다.

특징 · 고강성 하니콤(Honeycomb) 구조의 광학 정반
 광학정반 내부에 Steel 재질의 벌집(Honeycomb)구조와 코아를 내장하여 가벼우면서도 고감성을 실현하였고
 특히 상판위에서의 충격에 대한 감쇠(Damping) 효과를 극대화하였다. 광학 정반 구조는 상면은 자성이 있는 스테인레스(SUS430)을
 적용하였으며 하면은 보통간판(SS41)를 특수 에폭시 본드로 부착시킨 구조로 되어 있다.

· High Quality Flatness(고강특성)
 광학정반의 하니콤 코아 상면, 하면, 측면은 고강도 에폭시 본드로 접착하여 견고하고 영구적이며
 탄성적인 휨이나 온도의 변화에도 뒤틀림 현상이 일어나지 않는다.

· Individaul Sealed Cap 내장
 시일드홀(Sealed Hole) 구조로 클린룸 사용 및 화학용액 실험에도 적합하다.

· High Damping effciency – 감쇠특성우수

· High-Quality Flat Top Suface(고강특성)
 특수표면 압착 처리 및 정밀 그라인딩에 의한 고품질 평면도를 제공합니다.

· 광학정반을 선택할 때는 보통길이와 두께의 비율을 10:1 정도로 하는 것이 일반적이나 진동이 심하고
작업환경이 좋지 않고 정밀측정을 요구하는 경우는 두께와 길이의 비율을 7:1로 하는 것이 적합하다.

  • GENERAL SPECIFICATION · Construction
     Stainless Steel Top Plastic Caps + Honeycomb Core + Steel Bottom

    · Plate
     Honeycomb core : Steel(0.25mm, 3.2cm2, cell size)
     Top Plate : 3.0~4.0mmt SUS430 or SUS304
     Side Panel : Carbon Steel
     Bottom : Plate : 3.0~5.0mm Carbon Steel
     Top Surface Flatness : ±0.1mm over 1000mm Square
     Mounting Hole
     Metric : M6 Tapped, 25mm Spacing, 37.5mm borders
     English : 1/4 Tapped, 1“spacing, 1.5“ borders
     Max, Dynamic Deflection Coefficient : (5.0 10in-3)
     Max, Relative Motion Valve : (5.0 10in-9)
     Deflection under Load : (5.0 10in-5)




Model 및 Size

  • SOT 0606 P/R 600 600 50/100
    SOT 0906 P/R 900 600 50/100
    SOT 1206 P/R 1200 600 50/100
    SOT 1506 P/R 1500 600 50/100
    SOT 1806 P/R 800 600 50/100
    SOT 2006 P/R 2000 600 50/100
    SOT 2406 P/R 2400 600 50/100
    SOT 0707 P/R 750 750 50/100
    SOT 0907 P/R 900 750 50/100
    SOT 1007 P/R 1000 750 50/100
    SOT 1207 P/R 1200 750 50/100
    SOT 1507 P/R 1500 750 50/100
    SOT 1807 P/R 1800 750 50/100/200/300
    SOT 2007 P/R 2000 750 50/100/200/300
    SOT 2407 P/R 2400 750 50/100/200/300
    SOT 0909 P/R 900 900 50/100
    SOT 1209 P/R 1200 900 50/100
    SOT 1509 P/R 1500 900 50/100/200
  • SOT 1809 P/R 1800 900 50/100/200/300
    SOT 2009 P/R 2000 900 50/100/200/300
    SOT 2409 P/R 2400 900 50/100/200/300
    SOT 1010 P/R 1000 1000 50/100
    SOT 1210 P/R 1200 1000 50/100
    SOT 1510 P/R 1500 1000 50/100/200
    SOT 1810 P/R 1800 1000 50/100/200/300
    SOT 2010 P/R 2000 1000 50/100/200/300
    SOT 2410 P/R 2400 1000 50/100/200/300
    SOT 1212 P/R 1200 1200 50/100/200
    SOT 1512 P/R 1500 1200 50/100/200
    SOT 1812 P/R 1800 1200 50/100
    SOT 2012 P/R 2000 1200 50/100/200/300
    SOT 2412 P/R 2400 1200 50/100/200/300
    SOT 3012 P/R 3000 1200 50/100/200/300
    SOT 3612 P/R 3600 12000 200/300
    SOT 3015 P/R 3000 1500 200/300
           

광학정반용 지지대(Optical Supports)

   

특징 · High Quality Air Spring을 채용하여 90 이상의 제진효율을 실현합니다.

· 3-point 자동수평장치 채용으로 편심하중 시 신속한 수평조절이 가능하고 ±0.1mm의 재현성을 실현합니다.

· All Frame 일체형으로 설치 시 안정성이 뛰어나며 외부 충격에도 강합니다. (옥립지지형도 주문제작 가능합니다.)

· 밑면의 레벨피트 조절자와 제벨링 밸브로 정밀 수평조절이 쉽습니다.

· 광학상판 및 최대 적재하중의 중량에 따라 최적의 Air Tank를 설계하면, Air Spring용적을 결정합니다.

· 제진성능이 필요치 않거나 움직이면 안되는 실험의 경우에 사용할 수 있도록 고정식 지지대도 제작 공급합니다.

· High Damping Efficiency
 자체 개발한 특수구조의 공기 스프링을 사용하여 지반으로부터 전달되는 미세진동을 효과적으로
 차단하여 정밀 광학실험에서 요구되는 진동환경을 만족합니다.

· 이동설치 용이
 지지대 하단에 고중량용 Caster를 공급하므로 실험실내에서의 이동, 재설치에 용이합니다.
 또한 착탈이 가능하여 별도 보관하였다가 필요시 재부착하여 사용할 수 있습니다.

· 다양한 부가장치 기본

GENERAL SPECIFICATION · Vertical Natural Frequency : 1.2-1.5Hz(0.7-1.0Hz)

· Air Pressure(권장) : 5-6bar(80psi)

· Horizontal Nature Frequency : 2.0Hz(1.0-1.1.2Hz)

· Air Tube Diameter : 6mm0D

· Vertical Adjustable Range : ±5mm

Auto-Leveling Value

독립지주형(원통형)

   

특징 · 건물 or 지반진동이 심한 경우
 ex) 고층빌딩, Access Floor, 지하 or 상부 고주파 기계장치 이상의 경우 일반 Rack형태의 Support는
 전체적인 흔들림 현상이 발생하거나 독립형의 경우 진동의 분산 효과가 탁월하며 원통형의 경우 X,Y,Z까지
 진동이 제어되므로 월등한 성능의 진동 제어 효과가 있습니다.

GENERAL SPECIFICATION · Vertical Natural Frequency : 0.6-1.0Hz
· Horizontal Nature Frequency : 0.8-1.1.2Hz

 지반 조건에 따라 약간의 변화가 있을 수 있습니다.

Overhead Table Shelf System

Overhead Table Shelf는 Optical Table과 연결하여 사용되는 설비와 기계를 위해 테이블과 분리하여
테이블의 가로축에 설치되는 Overhead Table Shelf는 높이와 Vibration Isolation 절충되지 않도록 높이를 조절할 수 있다.
컴퓨터 및 콘트롤러, 오실로스코프 등을 올려놓을 수 있도록 설계되었으며 광학테이블의 공간활용이 가능하며
계측기 조작 시 광학테이블에 진동의 영향을 주지 않으므로 사용이 편리하다. Shelf의 양쪽에는 접지용
전원구 (110/220v)를 내장시켰으며 T자 홈부위에 너트와 볼트(M8)을 삽입하여 필요시 추가로 Under-Shelf를
원하는 위치에 설치할 수 있다. Shelf의 기둥부위에는 halogen Lamp(220v)를 설치하였으며 과전류 차단기를
내장하여 과부하시 전원이 자동으로 차단된다.

· Size : W600 x 1800(mH)
· Power Line : 110V / 220V
· 과전류 차단기 내장
· 220V 형광등 할로겐등 각 기둥 내장 및 부착(선택)
· no of Hanging shelf (재질 – AL) - SIZE : 550x550(선택), 800x550(선택)

  • Model
    SOTS-04ft
    SOTS-05t
    SOTS-06ft
    SOTS-08ft
    SOTS-10ft
    SOTS-12ft
  • Table size(W)
    1200mm
    1500mm
    1800mm
    2400mm
    3000mm
    3600mm
  • 콘센트(110/220v)
    4EA
    5EA
    6EA
    8EA
    10EA
    12EA
  • No of Hainging Shelf
    1EA
    2EA
    3EA
    4EA
    5EA
    6EA

Joined Table System

특징 · Joined Table Systemd은 테이블 표면이 정밀하게 연마 용접되고 Joiner Plate System에 의해 배열된다.
· 신한에이텍은 Optical Table 사이에 정밀하게 연결할 수 있게 테이블 끝과 끝이 연결하여 쉽게 "L" 형태나 "T" 형태로 연결할 수 있다.
· 추가로 서로 다른 두께의 테이블들을 연결함으로써 한개의 테이블 위에 두개의 작업 높이를 가진 형태도 제공할 수 있다.
· 모든 연결된 테이블들은 고장에서 조립되고 테스트되고 Customer가 요구하는 위치에서 재조립된다.
· 테이블들은 언제든지 분리될 수 있고, 개별적으로 또는 재결합하여 사용할 수 있다.

Joined Table System Lay Examples

Optical Table Accessories

Solid Aluminum Plate 특징 · Solid Aluminum Plates는 Non-Critical할 경우 저렴한 가격으로 간단히 사용할 수 있는 실용적인 Bread Board이다.
· 다양한 규격의 크기와 고정할 수 있는 Tap Hole 구조로 품질과 내구성이 뛰어나고 사용상 편리하다.
· 여러 가지 형상과 다양한 크기로 제작가능하며 Metric과 Inch Hole 중 선택가능
· 고객요구에 의한 형상으로 제작이 가능하며 표면은 검정무광 혹은 은백색으로 아노다이징 처리

Specification · Mounting Hole
 Metric M6 Holes, 25mm grid, 37.5mm borders .inch 1/4 Holes, 1inch grid, 1.50inch borders

· Flatness : 0.1MM over 600mm
· Thckness(10mm, 12mm, 15mm, 20mm, 25mm)
· Finish Black or Anodized

  • Optical Table Enclosures Enclosures는 Table Top 설치하는 형태로 실험 중 공기의 흐름을 차단하고
    무소음의 상태로 만들어 최적의 실험상태를 만들어 주며 Enclosures 구성요소를
    보면 프레임은 알미늄 압축형광으로 되어있고 판넬들은 투명한 아크릴 판이나
    반투명 아크릴 판으로 구성되어 있다.
    공기의 흐름이나 소음으로 발생하는 제진성능의 저하를 방지하며
    기존의 광학테이블에 쉽게 설치할 수 있다.

Clean Booth

특징 · Clean Booth를 구성하는 자재들은 PARTICLE 반지 부품들을 적용함으로써 기능성, 편의성과 미관을 도모할 뿐만 아니라 사후관리 측면에서도 신속한 대응을 제공합니다.
· 출입구와 WALL재는 대전방지용 투명 SHEET를 사용함으로써 내부가 투명하게 보이고 유리나 아크릴과 같이 충격에 의해 깨질 염려가 없습니다.
· HEPA-FILTER UNIT 부착으로 CLASS100~10,000의 청정도를 유지할 수 있습니다.
· ROOM SYSTEM이 부적합한 장소 또는 기대효과에 비해 투자비가 과다하다고 판단되는 장소에 적합합니다.
· 현장의 LAY-OUT이 자주 변경되거나 CLEAN BOOTH의 이동이 요구되는 장소에는 이동식 CLEAN BOOTH가 편리합니다.
※ Clean Booth의 size 및 사양은 협의 후 주문 제작

Laser Shelves

Laser Shelves는 Table Top의 밑면 Plate에 부착된 추가적인 50mm 두께의 Breadboard로 구성되며 기기를
부착하는 Hole은 장비의 고정 Hole에 알맞게 주문 시 결정합니다. Table Top에 작업공간 부족으로 인하여
장비를 Frame에 간섭을 받지 않기 때문에 진동이 민감한 장비도 설치가 가능하다.
※ Laser Shelves의 size 및 사양은 협의 후 주문 제작

Accessories

Air Compressor

· MODEL : SHC-820A
· TANK : 30L
· 전압 : 220V-60Hz
· 사용압력 : 5~8kg/㎠

Dark Box



Faraday Cages



Vibration Isolation System

SHIP Series SHIP Series는 고중심, 고중량의 대형장비에 적합한 제진대로서 진동감쇠에 탁월한 효과를 보이며 고성능 맞춤형 제진대로서 전자현미경,
TEM등의 정밀측정장비에 많이 사용된다.

· 고강성 및 감쇠효과가 탁월한 제진 상판
  하니콤 구조 및 Steel plate에 에폭시 본딩 구조가 있으며 고강성 및 진동감쇠특성이 우수하며
  장비의 중량 및 Size에 따라 맞춤 설계가 가능함.

· 자동수평유지
  3 AUTO LEVELING VALVE를 사용하여 장비의 기울림이나 하중의 변화에도 자동적으로 수평이 유지된다.

· 장비의 무게 및 사양에 따라 IOSLATOR 선정 및 설계
  장비의 하중이나 LEVELING 정도에 따라 다양한 ISOLATOR를 보유하고 있으며 전방향 제진으로 탁월한 성능을 발휘함.

· 최적의 ISOLATOR 전방향 제진 성능 발휘
  자체 개발한 특수한 AIR SPRING을 사용하여 수직, 수평 제진성능을 개선시켜 취약한 지반의 경우에도 탁월한 제진성능을 발휘한다.

· 장비설치 전 후 진동측정을 통해 TOTAL SOLUTION 제공
  장비설치 전 후 진동측정을 통해 지반의 상태 및 장비의 설치 적정성 여부를 파악하고 장비의 진동 SPEC을 만족시킬 수 있는 방안을 모색한다.
 

Cradle Flatform Type


Base Flatform Type


SHIB Series SHIB Series는 Air Spring이 내장된 Type과 공기주입식 Air Mount를 사용하는 Type 2가지 종류로 구분된다.



특징
  · 소형 Air Spring을 내장하고 있어 제진성능이 뛰어나고 가벼우면서도 설치 및 이동이 편리하다
  · 가격이 저렴하고 경량구조로 되어 있어 기존의 Table 위에 설치가 가능하다.
  · 압축공기원이 없는 곳에서도 수동 Pump로 간단히 압축공기를 봉할 수 있다.
  · 압축공기와 소형 컴퓨레셔를 사용하여 3개의 Auto Leveling Valve로 Air Spring 압력을 조정하여 레벨의 수평을 유지하는 제진대와
   수동펌프로 Air를 Air Spring에 주입하여 수평을 조절하는 Type이 있다.
  · 특수한 재질을 사용하여 충격을 쉽게 흡수하기 위하여 고강성 상판을 사용하였고 벌집구조의 하니콤을 내장한 상판을 사용


Specifications


용도
반도체 검사장치, 조도계, 경도계, 광학현미경, 표면조도계 등의 정밀 측정기기
· Ordering Chart
· 외형도

Desk Type Vibration Isolation Workstation

특징 및 장점 · High Level Air Spring
 특수재질의 박막형 다이아프람을 내장한 Air Spring 채택으로 고주파는 물론 저주파 진동 제어에도 탁월한 성능을 발휘합니다.

· 정밀 자동수평 조절장치
 고정밀 3점지형 Auto Levelling Valve를 사용하여 편심하중이 작용하여도 신속한 자동수평조조절이 가능하며 위치반복정밀도 ±0.1mm를 실현합니다.

· Steel Honeycombo상판
 상판위에서의 충격을 쉽게 흡수하고 고강성 저중량 작업환경을 위하여 벌집구조의 Honeycombo를 내장한 상판(Top Plate)을 제공합니다.
 - 제진 성능을 위하여 Steel Plate and SUS 304 Top Cover Type사용

· 다양한 편이 장치
 작업의 편의성을 위한 Arm Rest 및 이동식 선반을 기본 공급하며 고객요구의 다양한 부가장치들을 주문제작합니다.

· Clean Room용 소개
 일반 Lab 뿐만 아니라 반도체 제조라인에서 사용할 수 있도록 All Stainless Steel로도 제작합니다.

주파수 대역 진동전달율



Isolator

SHIT Series SHIT Series는 신규장비 및 기존장비에 제진이 필요한 경우 하부 Frame과 상부 장비 Base와의 사이에
설치하기가 용이하며 제지성능, 감쇠능력, Settling Time이 우수하며 X-Y Stage를 사용하는 최정밀 측정검사장비에
적합한 Isolator입니다.
SHIT는 ISOLATOR 부분에서 국내최초로 특허를 획득하였으며 장비에 대해 직접 TEST도 가능합니다.

특징 · X-Y Stage 이동 시 Settling time 최소화
· 고중량을 제진하기 위하여 제진 성능이 저하되는 것을 방지
· Settling Time과 제진성능을 동시에 만족시킬 수 있다.
· Isolator와 Auto Leveling Valve의 공압적인 상반관계를 자유로이 제어한다.
· 제진성능과 강성을 만족시켜 장비의 성능과 생산성을 향상시킨다.
· X,Y,Z축 전방향 제진 가능

General Specification · TYPE : Air Suspension Isolated by 4 Air Spring Isolatiors
· ISOLATION PERFORMANCE :
 Natural Frequency(Vertical) : 1.2 ~ 1.5Hz (Oil Damper 내장) : 2.0 ~ 2.3Hz
 Natural Frequency(Horizontal) : 1.5 ~ 1.8Hz (Oil Damper 내장) : 2.0 ~ 2.5Hz

· Damping : Air Damping by Orifice
· Level Control : Auto Leveling by 3 Auto Level Valve
· Level Repeatability : ± 0.05mm/± 0.1mm
 (Option : 초정밀 위치 Sensor 및 제어 Controller 장착 시 10㎛/20㎛ Leveling 가능)

· Air Supply : 4~6kg/㎠ Compressed Air or Nitrogen Gas
· Setiling time : 1.5 ~ 2.5/sec
· MATERIAL : AL 및 AL 합금

공기 주입식 Air Mount

AIR MOUNT - SHAM Series 공기주입식 Air Mount는 진동이 민감하지 않는 정밀기기 방진이나 제진에 적합하고 지반의
공진동수가 7Hz 이상인 경우에 사용되며 수동으로 공기를 주입하는 방식과 3개의 Auto Levelling를
설치하여 자동으로 levelling이 가능하도록 시스템을 구성하는 2가지의 경우가 있다.

특징 · 고유진동수가 4.5 ~ 9.5Hz로 저진동 및 고진동에 탁월한 성능 발휘
· 공기 주입식(2~6kgf/cm) 전용 방진재
· 고정볼트로 기계에 취부, 기초판 Non-Slip판 앵커링 불필요
· 제품은 고무(Neoprene)와 금속으로 구성되며, 공기 밀봉식으로 별도의 연결 라인이 필요없고, 타이어 공기주입기로 공기 주입이 가능
· 3개의 Auto Levelling Valve로 시스템을 구성하여 계속적으로 Air 공급되며 자동수평유지
· 작동 용도 범위는 -10℃ ~ 80℃ 범위

용도 · 대형 기계류(프레스 및 단조 해머 등) 동적 하중이 큰 설비의 충격절연
· 정밀 기계, 측정 / 시험장비의 진동절연
· 회전 기계(터빈, 공기 압축기 등)의 진동절연
· 공조기 및 방진 가대 진동절연

독립기초형 제진대

SHIP Series SHIP Series는 고중심, 고중량의 대형장비에 적합한 CONCTETE RAD 형태의 독립기초형 제진대로서
진동감쇠에 탁월한 효과를 보이며 고성능 맞춤형 제진대이며 지반의 진동상태를 그대로 유지하기 위하여
반도체, LCD, PDP, FAB, LINE, 연구소 등의 CLEAN ROOM에서 ACCESS FLOOR를 제거 및 분리하여
설치하는 제진대입니다.

General Specification · ANTI-VIBRATION PAD는 CONCRETE 구조로 되어 있다.
· CONCRETE PAD는 견고하고 강성을 중요시 하여 강도는 2X10-7(N/m)이하이다.
· CONCRETE PAD 타설 시 CONCRETE와 함께 진동을 흡수할 수 있는 흡진제를 혼합한다.
· 외부 진동 전달을 감소시킬 수 있는 고 효율 방진패드(Anti-Vibration Pad)의 사용
· 고 중량물을 손쉽게 LEVELLING이 가능
· LEVEL SUPPORT SYSTEM 장착 및 에폭시 본드로 지반 보에 부착가능
· VIBRATION CONCRETE PAD 상면부위는 ACCESS FLOOR와 색상을 호환하기 위하여 전도성 타일 부착

제품사양 · 장비의 진동 SPEC 요구조건 충족
· LEVEL SUPPORT SYSTEM 장착하여 LEVELLING 가능
· 강도는 2X10-ⁿ(N/m)
· CONCRETE와 납, 구리, 흡진제 혼합

기타 · 탑재기기의 특수한 강성의 요구사항이나 형상(FOOT PRINT), 탑재중량, 무게중심점 등 장비사양에 따라 각각 설계, 제작되는 주문형이며 엔지니어링 솔루션 제공
· 설치전 후 진동측정 및 분석 결과서 제출
· 진동가속도, 진동변위, 진동속도 및 ISO VC CLASS를 모노그래프에 표시